高性能氧化锌磁控溅射靶材产业化

  针对Low-E节能镀膜玻璃、汽车镀膜玻璃、CIGS薄膜太阳能电池、大面积触摸屏等领域对高质量氧化锌磁控溅射靶材的国产化的迫切需求,本课题组自从2006年组建之日开始从事高质量的氧化锌磁控溅射靶材的研发工作,经过多年的努力,已经形成了完整知识产权覆盖的氧化锌磁控溅射靶材生产技术,涉及溶胶-凝胶以及共沉淀等湿化学宏量制备掺杂均匀的 ZnO 纳米颗粒技术、低分子量有机溶剂修饰 ZnO 纳米颗粒形成高浓度分散浆料技术、致密度大于70%的大尺寸坯体成型技术、常压条件下的低温(小于1400℃)两步致密烧结技术以及机加工与高焊接率绑定技术,获得大尺寸高密度低电阻率的氧化锌磁控溅射靶材。

  产品性能指标上达到或超过了国际同行的先进水平,避免了溅射过程中靶材表面所产生的结瘤、放电以及掉渣等困扰镀膜行业的使用“痛点”。 氧化锌靶材产品获得南玻集团、台玻集团、福耀汽车玻璃等国内主流镀膜客户的高度认可,协助他们解决了系列问题,服务于国家的重大战略需求和重点工程,取得了良好的社会经济效益。

  



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